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中央空調系統有主機和末端系統。按負擔室內熱濕負荷所用的介質可分為全空氣系統、全水系統、空氣水統、制冷劑系統。按空氣處理設備的集中程度可分為集中式和半集中式。按被處理空氣的來源可分為封閉式、直流式、混合式（一次回風二次回風）。主要組成設備有空調主機（冷熱源）、組合式空調機組（風柜）、風機盤管等等。為了便于使用和維修，主機的冷、熱煤管路上應設截至閥止回閥、過濾器、平衡閥、壓力表和溫度計等。在蒸汽加熱器的蒸汽管路上還要設蒸汽調節閥門和疏水器。為了保證表面式換熱器正常工作，在水系統的制高點應設排空氣裝置（如立式和臥式排氣閥），而在低點應設泄水閥門和排污閥門。
潔凈室恒溫恒濕空調通風系統耗電占整廠耗電量的約40~60%，一座晶圓廠的耗電量相當于一座十萬人口的城市；大部分已建成潔凈室，為降低成本和趕工期，導致未能采用有效的節能設備和方案，限有的大量潔凈室，有很大的節能改善空間；
采用更加節能、帶熱回收的主機；變頻技術、及通過系統分析對整個空調系統采用智能控制，提高系統運行cop通過采取全面改善措施，可以降低系統耗電10~30%。
